[发明专利]一种太赫兹波段MEMS复合梁开关在审
| 申请号： | 202310783506.3 | 申请日： | 2023-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN116799451A | 公开（公告）日： | 2023-09-22 |
| 发明（设计）人： | 张乃柏;王子莱;黄建明;崔岩松;杨军;杨光耀;游长江;郭秋泉 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第五十四研究所;北京邮电大学;电子科技大学（深圳）高等研究院 |
| 主分类号： | H01P1/10 | 分类号： | H01P1/10;B81C1/00 |
| 代理公司： | 河北东尚律师事务所 13124 | 代理人： | 王文庆 |
| 地址： | 050081 河北省石家庄市*** | 国省代码： | 河北;13 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明公开了一种太赫兹波段MEMS复合梁开关，属于射频前端器件技术领域。其由直流端口金属块，直流偏置线，微带线匹配结构，复合梁，中间导通结构，金属电极，氮化硅绝缘层，硅基衬底，金属地组成。该开关为复合固支梁电容式开关，复合梁由二氧化硅材料固支梁及吸附在其下方的金属梁组合而成，直流端口分别经过直流偏置线连接到金属梁锚点位置及金属电极，可以通过直流端口输入不同直流电压控制复合梁的抬起状态与吸附到电极的下拉状态，分别对应着开关的断开状态与导通状态。本发明可以在太赫兹波段350GHz频率以下实现高隔离度：微秒量级的响应时间，且不易发生破坏性形变；结构简单、制造方便，可以通过硅基工艺进行制造。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 赫兹 波段 mems 复合 开关 | ||
【主权项】：
暂无信息
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