[发明专利]一种制作玻璃微流控芯片的方法在审
| 申请号： | 202310772923.8 | 申请日： | 2023-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN116870978A | 公开（公告）日： | 2023-10-13 |
| 发明（设计）人： | 张立;方艳阳;周建红 | 申请（专利权）人： | 深圳市圭华智能科技有限公司 |
| 主分类号： | B01L3/00 | 分类号： | B01L3/00;B81B7/02 |
| 代理公司： | 深圳市添源创鑫知识产权代理有限公司 44855 | 代理人： | 于标 |
| 地址： | 518055 广东省深圳市龙华*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明提供了一种制作玻璃微流控芯片的方法，包括：第一步：用激光区域选择性辐照改性蚀刻方法制作载玻片；第二步：用激光区域选择性辐照改性蚀刻方法制作微流道结构；第三步：用激光区域选择性辐照改性蚀刻方法制作盖板；第四步：低温键合；第五步：用激光区域选择性辐照改性方法整体切割外形；第六步：机械或手工裂片。本发明的有益效果是：本发明方法中所使用的设备简单、操作方便、无需特殊工作环境，与曝光方法制作微流道结构相比，减少了数个中间环节，大幅缩短了微流控芯片的制作周期，显著降低微流控芯片成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 制作 玻璃 微流控 芯片 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深圳市圭华智能科技有限公司，未经深圳市圭华智能科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202310772923.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
