[发明专利]一种氮化硅线切割方法在审
| 申请号： | 202310761374.4 | 申请日： | 2023-06-27 |
| 公开（公告）号： | CN116587440A | 公开（公告）日： | 2023-08-15 |
| 发明（设计）人： | 柏小龙;徐祖东;蔡晓霞 | 申请（专利权）人： | 埃克诺新材料（大连）有限公司 |
| 主分类号： | B28D1/08 | 分类号： | B28D1/08;B28D7/04;B28D7/02;B24B27/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 116423 辽宁省大*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明公开一种氮化硅线切割方法，包括：对金刚石线切割装置上安装环形金刚石线锯并张紧，利用夹具将待切割的氮化硅毛坯样块固定在所述承载台上；启动电机电机，驱动导向轮转动，带动环形金刚石线锯运动；控制升降装置将氮化硅毛坯样块抬升，以利用环形金刚石线锯对所述氮化硅毛坯样块进行切割；解决了现有的氮化硅线切割工艺采用往复式金刚石线切割，切割速度和切割精度有待提升的问题，可实现高速切割，耗时少，节省大量的时间；切割精度高，并且环形金刚石线锯可选择多种线径，可根据客户的需求来选用不同的线径，满足了客户的不同要求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氮化 切割 方法 | ||
【主权项】：
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