[发明专利]一种薄膜蒸镀过程中温度场的计算方法在审
| 申请号： | 202310755787.1 | 申请日： | 2023-06-21 |
| 公开（公告）号： | CN116757044A | 公开（公告）日： | 2023-09-15 |
| 发明（设计）人： | 仰振东;王金兵;汤泽波;樊申松;曹慧;周峰 | 申请（专利权）人： | 安徽赛福电子有限公司 |
| 主分类号： | G06F30/23 | 分类号： | G06F30/23;G06F17/10;G06F119/08 |
| 代理公司： | 合肥东信智谷知识产权代理事务所(普通合伙) 34143 | 代理人： | 刘寒冰 |
| 地址： | 244000 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明涉及薄膜蒸镀温度场计算领域，尤其涉及一种薄膜蒸镀过程中温度场的计算方法，包括：通过几何模型对薄膜进行网格划分，并获得薄膜的节点坐标，根据薄膜的节点坐标，并利用有限差分数值得到中心网格节点温度与周边网格节点温度之间的关系，根据热负载边界以及对流换热边界获得薄膜边界节点的温度方程，对计算矩阵进行迭代，直至得到标准计算时刻的温度场。本发明扩展了真空蒸镀中小面积蒸镀源模型，使其能够运用于轮毂传输蒸镀薄膜的实际应用场景中，推导了薄膜在运动过程中，薄膜上各点所承载的蒸镀热负载随时间的演化，解决了薄膜在蒸镀运动过程中热负载加载问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 薄膜 过程 温度场 计算方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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