[发明专利]用于监测真空腔室的清洁度的清洁度监测器和方法在审
申请号: | 202310708052.3 | 申请日: | 2018-07-13 |
公开(公告)号: | CN116930384A | 公开(公告)日: | 2023-10-24 |
发明(设计)人: | 伊里特·拉奇-尼尔;迈克尔·艾伦;盖伊·伊坦;马根·雅科夫·舒曼 | 申请(专利权)人: | 应用材料以色列公司 |
主分类号: | G01N30/72 | 分类号: | G01N30/72;H01L21/67 |
代理公司: | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人: | 徐金国;赵静 |
地址: | 以色列*** | 国省代码: | 暂无信息 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 一种用于监测真空腔室的清洁度的清洁度监测器。所述清洁度监测器可包括质谱仪、分子聚集和释放单元、以及分析器。所述分子聚集和释放单元被配置为(a)在聚集时期期间聚集存在于所述真空腔室中的有机分子和(b)在释放时期期间朝向所述质谱仪诱导所述有机分子的子集的释放。所述质谱仪被配置为:监测所述真空腔室内的环境,和产生指示所述环境的内容物的检测信号;其中所述检测信号的第一子集指示所述有机分子的所述子集的存在。所述分析器被配置为基于所述检测信号来确定所述真空腔室的清洁度。 | ||
搜索关键词: | 用于 监测 空腔 清洁 监测器 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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