[发明专利]一种石墨烯长波红外可调谐表面声子-等离激元耦合器件在审
| 申请号： | 202310690145.8 | 申请日： | 2023-06-12 |
| 公开（公告）号： | CN116819804A | 公开（公告）日： | 2023-09-29 |
| 发明（设计）人： | 陈长虹;张晔;高翔宇 | 申请（专利权）人： | 华中科技大学 |
| 主分类号： | G02F1/015 | 分类号： | G02F1/015;G02F1/01 |
| 代理公司： | 华中科技大学专利中心 42201 | 代理人： | 许恒恒 |
| 地址： | 430074 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： |
本发明属于红外调制器件技术领域，公开了一种石墨烯长波红外可调谐表面声子‑等离激元耦合器件，自下而上包括基底层(1)、介质层(2)、石墨烯层(3)和金属结构层；其中，基底层为SiC同质外延片，自下而上包括重掺SiC衬底(101)和SiC外延层(103)；重掺SiC衬底的掺杂浓度不低于1×10 |
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| 搜索关键词： | 一种 石墨 长波 红外 调谐 表面 离激元 耦合 器件 | ||
【主权项】：
暂无信息
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