[发明专利]一种单晶坩埚装载装置有效
| 申请号： | 202310680124.8 | 申请日： | 2023-06-09 |
| 公开（公告）号： | CN116397318B | 公开（公告）日： | 2023-08-18 |
| 发明（设计）人： | 李林东;陈伟;张鹏;吴超慧;陈志军;卢亮;许堃;邢立勋 | 申请（专利权）人： | 苏州晨晖智能设备有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/10 | 分类号： | C30B15/10;C30B29/06 |
| 代理公司： | 苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙) 32257 | 代理人： | 张荣 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及单晶炉技术领域，尤其是指一种单晶坩埚装载装置；包括上滑柱，所述上滑柱的顶部固接有对接盘，所述对接盘的顶部设置有坩埚托盘，所述坩埚托盘呈圆盘形设置，所述坩埚托盘包括三个体积相同的瓣片，所述坩埚托盘的顶面中部固接有环形的锁定环，所述瓣片的外侧设置有驱动组件，所述驱动组件用于带动瓣片在对接盘的顶部滑动，通过驱动组件让三个石墨坩埚分离，此时石墨坩埚和石英坩埚相互分离，两者直接存在缝隙，可以更加便捷的将石英坩埚取出，且相互分离的石墨坩埚也更加方便取出，通过此种设置，不仅方便了石英坩埚的取出过程，同时也方便了石墨坩埚的安放和取出过程。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 坩埚 装载 装置 | ||
【主权项】：
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