[发明专利]一种单晶坩埚装载装置

说明书

本发明涉及单晶炉技术领域，尤其是指一种单晶坩埚装载装置；包括上滑柱，所述上滑柱的顶部固接有对接盘，所述对接盘的顶部设置有坩埚托盘，所述坩埚托盘呈圆盘形设置，所述坩埚托盘包括三个体积相同的瓣片，所述坩埚托盘的顶面中部固接有环形的锁定环，所述瓣片的外侧设置有驱动组件，所述驱动组件用于带动瓣片在对接盘的顶部滑动，通过驱动组件让三个石墨坩埚分离，此时石墨坩埚和石英坩埚相互分离，两者直接存在缝隙，可以更加便捷的将石英坩埚取出，且相互分离的石墨坩埚也更加方便取出，通过此种设置，不仅方便了石英坩埚的取出过程，同时也方便了石墨坩埚的安放和取出过程。

技术领域

本发明涉及单晶炉技术领域，尤其是指一种单晶坩埚装载装置。

背景技术

单晶炉是一种在惰性气体环境中，用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化，用直拉法生长无错位单晶的设备，在使用单晶炉生产单晶硅时，单晶硅的原料需要通过坩埚来盛放；

单晶炉中需要使用两种坩埚，一种是最为底承的石墨坩埚，内部存在电阻，另一种是放置在石墨坩埚中的石英坩埚，石英坩埚不存在电阻，为了将坩埚安稳的放置在单晶炉中，需要在单晶炉中设置装载坩埚的设备；

传动的装载设备结构较为简单，只能单纯的固定坩埚底部，但是坩埚在每次使用后，都需要将石英坩埚和石墨坩埚取出进行检查和清理，传统的装载设备，在执行此过程时，无法提供协助，导致生产周期延长。

发明内容

为此，本发明所要解决的技术问题在于克服现有技术中，装载设备结构较为简单，只能单纯的固定坩埚底部，但是坩埚在每次使用后，都需要将石英坩埚和石墨坩埚取出进行检查和清理，传统的装载设备，在执行此过程时，无法提供协助，导致生产周期延长的问题。

为解决上述技术问题，本发明提供了一种单晶坩埚装载装置，包括上滑柱，所述上滑柱的顶部固接有对接盘，所述对接盘的顶部设置有坩埚托盘，所述坩埚托盘呈圆盘形设置，所述坩埚托盘包括三个体积相同的瓣片，所述坩埚托盘的顶面中部固接有环形的锁定环，所述瓣片的外侧设置有驱动组件，所述驱动组件用于带动瓣片在对接盘的顶部滑动，通过坩埚托盘结构设置，将坩埚托盘分割成三个等体积的瓣片，三个瓣片放置三瓣石墨坩埚，在安放石墨坩埚时，先从底部将上滑柱向上顶，让整个坩埚托盘向上移动，通过驱动组件让三个瓣片相互分开，石墨坩埚的底部开设有与锁定环相适配的卡口槽，可以将石墨坩埚卡合在瓣片的锁定环上，之后通过驱动组件让三个瓣片合并，让石墨坩埚变为一个整体，再将石英坩埚装配在石墨坩埚中，完成两个坩埚与单晶炉的转载，之后让上滑柱和坩埚托盘下沉，加热整个单晶炉进行单晶制备工作，制备结束后，从外界上顶上滑柱，让坩埚托盘上升，再通过驱动组件让三个石墨坩埚分离，此时石墨坩埚和石英坩埚相互分离，两者直接存在缝隙，可以更加便捷的将石英坩埚取出，且相互分离的石墨坩埚也更加方便取出，通过此种设置，不仅方便了石英坩埚的取出过程，同时也方便了石墨坩埚的安放和取出过程。

在本发明的一个实施例中，所述驱动组件包括传动杆，所述上滑柱的顶部开设有贯穿至底部的顶槽，所述传动杆穿过顶槽与上滑柱滑动连接，所述坩埚托盘的顶面中部开设有贯穿至底部的分离槽，所述分离槽呈上窄下宽设置，所述分离槽位于传动杆的正上方，通过在单晶炉底部上顶传动杆，让传动杆的顶部插入分离槽中，分离槽的上窄下宽设置，在传动杆插入时，会将三个瓣片向外顶，通过此种设置，有效的实现了三个瓣片的分离效果，且整体结构厚实、传动稳定，可以在高温的单晶炉中长期使用。

在本发明的一个实施例中，所述上滑柱的底部转动连接有下滑柱，所述传动杆的底部贯穿至下滑柱的底部，并与下滑柱中部滑动连接，所述下滑柱的外侧套接有套筒一，所述套筒一的外侧固接有中心架，所述中心架的顶部靠两端均固接有液压杆，所述中心架与下滑柱之间设置有支撑组件，所述支撑组件用于支撑下滑柱，需要上顶和下落坩埚托盘时，只需通过两个液压杆的伸缩，就能带动中心架进行沉降，进而带动下滑柱、上滑柱和坩埚托盘进行沉降工作，便于坩埚的取出和装载过程，而液压杆连接在单晶炉的外壁上，不会过分扩大单晶炉的占用体积。