[发明专利]单晶炉双相复合换热器、单晶炉和换热方法有效
| 申请号： | 202310678043.4 | 申请日： | 2023-06-09 |
| 公开（公告）号： | CN116428902B | 公开（公告）日： | 2023-08-22 |
| 发明（设计）人： | 李林东;魏子涵;陈伟;陈志军;吴超慧;张鹏;丁云飞;许堃 | 申请（专利权）人： | 苏州晨晖智能设备有限公司 |
| 主分类号： | F28D21/00 | 分类号： | F28D21/00;C30B15/00;C30B15/20;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 杨勋 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市自由贸易试验区中国*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及半导体技术领域，具体而言，涉及一种单晶炉双相复合换热器、单晶炉和换热方法；单晶炉双相复合换热器包括换热壳体和分隔板，换热壳体包括相互连接且间隔分布的内壳和外壳，内壳的内壁和外壳的内壁之间形成换热腔，内壳的外壁围合形成提拉通道；分隔板连接于内壳的内壁和外壳的内壁之间，用于将换热腔分隔为水冷换热腔和相变换热腔，其中，水冷换热腔位于相变换热腔的上方，水冷换热腔用于循环冷却水，相变换热腔用于盛装有机换热介质、并用于容纳有机换热介质挥发形成的气相换热介质。本发明的单晶炉双相复合换热器和换热方法能够稳定、可靠地控制纵向温度梯度，以保证晶体在高拉速下稳定地生长，提高晶体生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 单晶炉双相 复合 换热器 单晶炉 方法 | ||
【主权项】：
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