[发明专利]计算机辅助弱图案检测及鉴定系统在审
| 申请号： | 202310673557.0 | 申请日： | 2017-04-21 |
| 公开（公告）号： | CN116681676A | 公开（公告）日： | 2023-09-01 |
| 发明（设计）人： | N·哈克;A·帕克;A·古普塔 | 申请（专利权）人： | 科磊股份有限公司 |
| 主分类号： | G06T7/00 | 分类号： | G06T7/00;G06V10/25;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 刘丽楠 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本申请涉及计算机辅助弱图案检测及鉴定系统。弱图案检测及鉴定系统可包含经配置以检验晶片及检测存在于所述晶片上的缺陷的晶片检验工具。所述系统还可包含与所述晶片检验工具通信的至少一个处理器。所述至少一个处理器可经配置以：基于所述晶片的设计对所述所检测缺陷执行图案分组；基于所述图案分组识别所关注区域；识别含于所述经识别所关注区域中的弱图案，所述弱图案是偏离所述设计达大于阈值的量的图案；验证所述经识别弱图案；及报告所述经验证弱图案或基于所述经验证弱图案促成所述晶片的所述设计的修正。 | ||
| 搜索关键词： | 计算机辅助 图案 检测 鉴定 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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