[发明专利]一种基于等离子体活化SF6 在审
| 申请号： | 202310643329.9 | 申请日： | 2023-06-01 |
| 公开（公告）号： | CN116947102A | 公开（公告）日： | 2023-10-27 |
| 发明（设计）人： | 张晓星;李亚龙;杨照迪;万昆 | 申请（专利权）人： | 湖北工业大学 |
| 主分类号： | C01G39/04 | 分类号： | C01G39/04;B01J19/08;B01D53/50;B01D53/68;B01D53/78 |
| 代理公司： | 武汉宇晨专利事务所(普通合伙) 42001 | 代理人： | 董路 |
| 地址： | 430072 湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： |
本发明公开了一种基于等离子体活化SF |
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| 搜索关键词： | 一种 基于 等离子体 活化 sf base sub | ||
【主权项】：
暂无信息
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