[发明专利]一种Nd-Fe-B基永磁薄膜及其制备方法与应用在审
| 申请号： | 202310642908.1 | 申请日： | 2023-06-01 |
| 公开（公告）号： | CN116580910A | 公开（公告）日： | 2023-08-11 |
| 发明（设计）人： | 张健;黄景彬;廖诗杰;沈保根 | 申请（专利权）人： | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 |
| 主分类号： | H01F1/057 | 分类号： | H01F1/057;H01F41/02 |
| 代理公司： | 杭州天勤知识产权代理有限公司 33224 | 代理人： | 胡红娟 |
| 地址： | 315201 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种Nd‑Fe‑B基永磁薄膜，所述Nd‑Fe‑B基永磁薄膜位于基底表面，包括依次形成于基底上的Ta缓冲层、Nd‑Fe‑B层和Ta覆盖层，所述Ta缓冲层的热膨胀系数介于基底和Nd‑Fe‑B层的热膨胀系数之间，厚度为230‑1000nm。本发明还公开了一种上述Nd‑Fe‑B基永磁薄膜的制备方法与应用。本发明选择热膨胀系数介于基底以及Nd‑Fe‑B层热膨胀系数之间的Ta薄膜作为缓冲层，通过增加Ta薄膜的厚度有效提高了Nd‑Fe‑B基永磁薄膜与基底的结合能力，使得所制备的Nd‑Fe‑B基永磁薄膜在高温退火时仍然保持与基底的有效结合，从而有效解决了磁性膜高温热处理时易剥离的问题，在微电子及微机电系统中具有较好的应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 nd fe 永磁 薄膜 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】：
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