[发明专利]薄膜的制备装置在审
| 申请号： | 202310640625.3 | 申请日： | 2023-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN116615077A | 公开（公告）日： | 2023-08-18 |
| 发明（设计）人： | 王皓正;吴涛;宗贝贝;王宏涛;牛闯;邱开富;王永谦;陈刚 | 申请（专利权）人： | 浙江爱旭太阳能科技有限公司;珠海富山爱旭太阳能科技有限公司;天津爱旭太阳能科技有限公司;广东爱旭科技有限公司 |
| 主分类号： | H10K71/12 | 分类号： | H10K71/12;H10K71/40;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 汪凡 |
| 地址： | 322009 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本申请提供了一种薄膜的制备装置。该薄膜的制备装置包括槽体和加热模块，其中，槽体用于盛放预定溶液，使得在槽体中放置有基板的情况下，基板的预定表面浸入预定溶液中；加热模块与槽体的底部接触，用于将预定溶液加热至预定温度，以在预定表面上形成薄膜。本申请的薄膜的制备装置具有加热模块，可以在基板置于槽体中时对槽体中的预定溶液进行加热，使得基板可以在完成薄膜的沉积后直接在槽体中完成退火烘干，退火过程在溶剂的气氛下进行，更有助于钙钛矿薄膜晶粒的成核成长，且不用将基板移出到另外的设备中退火，因此可以减少时间成本，进而解决了现有技术中无法在保证薄膜质量较好的同时实现减低时间成本的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜 制备 装置 | ||
【主权项】：
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