[发明专利]一种化学药液清洗设备的故障监测预警系统在审
| 申请号： | 202310633985.0 | 申请日： | 2023-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN116689379A | 公开（公告）日： | 2023-09-05 |
| 发明（设计）人： | 甘志金;肖邦华;何园 | 申请（专利权）人： | 安徽富乐德长江半导体材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/08 | 分类号： | B08B3/08;B08B13/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 铜陵市天成专利事务所(普通合伙) 34105 | 代理人： | 李坤 |
| 地址： | 244000 安*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明公开了一种化学药液清洗设备的故障监测预警系统，监测获取机械手移动监测数据、化学药液传输数据、清洗腔室的监测数据，输入特征分析模块确定各部件清洗运行特征，输入运行特征预测模型获得各部件预测结果，当存在任一结果达到预警条件时发送预警信息。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 化学 药液 清洗 设备 故障 监测 预警系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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