[发明专利]飞秒激光与离子束刻蚀联合修调半球谐振子的方法及装置有效
| 申请号： | 202310611495.0 | 申请日： | 2023-05-29 |
| 公开（公告）号： | CN116372376B | 公开（公告）日： | 2023-08-04 |
| 发明（设计）人： | 姜澜;王猛猛;赵普;周禹初;朱彤;赵丙权;赵小明 | 申请（专利权）人： | 北京理工大学;北京理工大学长三角研究院（嘉兴）;中国船舶集团有限公司第七〇七研究所 |
| 主分类号： | B23K26/346 | 分类号： | B23K26/346;B23K26/36;B23K26/70;G01C19/66 |
| 代理公司： | 北京新科华领知识产权代理事务所(普通合伙) 16115 | 代理人： | 王丽 |
| 地址： | 100081 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明属于微纳加工应用技术领域，具体涉及一种飞秒激光与离子束刻蚀联合修调半球谐振子的方法及装置；使用时空整形的飞秒激光和离子束刻蚀来实现从原子级至毫克级的质量去除，大幅提高调平的质量与精度，同时采用FPGA激励与检测电路来实现频率特性的快速分析，大幅提高调平效率，最终实现在线跨尺度调平。本发明可以大幅提高谐振子的调平效率，实现陀螺的跨尺度、超高精度、低应力调平，明显改善谐振子调平质量进而实现高质量、高效率加工。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 离子束 刻蚀 联合 半球 谐振子 方法 装置 | ||
【主权项】：
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