[发明专利]一种非接触式石英吸盘的制作工艺及其加工设备在审
| 申请号： | 202310603423.1 | 申请日： | 2023-05-25 |
| 公开（公告）号： | CN116694239A | 公开（公告）日： | 2023-09-05 |
| 发明（设计）人： | 王卫良;李士昌;刘超平;蒋建新 | 申请（专利权）人： | 盛吉盛精密制造（绍兴）有限公司 |
| 主分类号： | C09J5/02 | 分类号： | C09J5/02;B24B37/04;B24B37/10;H01L21/683 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 312000 浙江省绍兴*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明公开了一种非接触式石英吸盘的制作工艺及其加工设备，英吸盘包括片状的吸盘上板和片状的吸盘下板；吸盘下板的上端面上成型有出气流导槽；出气流导槽的底面上成型有若干上下开口的倾斜出气孔；吸盘上板通过无机胶水粘合在吸盘下板的上端面上；石英吸盘加工时首先在吸盘下板的一个表面上加工出气流导槽和倾斜出气孔、在吸盘上板上加工出进气孔，然后通过无机胶水粘合吸盘下板和吸盘上板，最后进行烧结，这样的加工方式气道加工方便，同时吸盘整体的厚度较薄，可以适应狭小的工作环境；同时通过烧结的方式使得吸盘耐高温；无机胶水的使用不光增加了吸盘整体强度，同时无机胶水不会产生小颗粒，避免小颗粒刮伤硅片。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 接触 石英 吸盘 制作 工艺 及其 加工 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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