[发明专利]一种半导体设备铝材加工用打磨机在审
申请号: | 202310591293.4 | 申请日: | 2023-05-24 |
公开(公告)号: | CN116587172A | 公开(公告)日: | 2023-08-15 |
发明(设计)人: | 华巍;潘康;赵海龙;陈修祥 | 申请(专利权)人: | 江苏芯航东方科技有限公司 |
主分类号: | B24B55/06 | 分类号: | B24B55/06;B24B55/12;B24B19/00 |
代理公司: | 苏州越知桥知识产权代理事务所(普通合伙) 32439 | 代理人: | 耿丹丹 |
地址: | 212001 江苏省镇江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种半导体设备铝材加工用打磨机,包括箱体、撑拖单元、夹具、升降磨具单元和降尘除尘机构,所述降尘除尘机构设置在箱体的内部并位于撑拖单元的底部;所述降尘除尘机构包括固定连接在箱体内壁的隔绝环,所述隔绝环的内部套设有抽风管,所述抽风管的底部与箱体固定连接,所述抽风管的内部固定连接有负压风机。本发明通过设置降尘除尘机构,可将烟气抽入抽风管的内部并使烟气和降尘液充分融合,之后利用降尘液则可将烟气中的杂质进行降解滤除,被除尘之后的烟气则可通过出气管排出箱体,相较于现有不具有除尘降尘功能的铝材加工用打磨机,本装置具有除尘降尘的优点。 | ||
搜索关键词: | 一种 半导体设备 铝材加 工用 打磨 | ||
【主权项】:
暂无信息
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