[发明专利]用于光电倍增管镀膜的蒸镀装置及其制作方法、装置以及光窗镀膜的蒸镀方法、装置在审
| 申请号： | 202310586122.2 | 申请日： | 2023-05-23 |
| 公开（公告）号： | CN116770231A | 公开（公告）日： | 2023-09-19 |
| 发明（设计）人： | 王亮;王兴超;周帆;任玲;司曙光;金睦淳;张昊达;纪路路;侯巍;汤偲晨 | 申请（专利权）人： | 北方夜视技术股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/30;C23C14/35;C23C14/54;C23C14/18 |
| 代理公司： | 南京行高知识产权代理有限公司 32404 | 代理人： | 王培松;张康 |
| 地址： | 650217 云南*** | 国省代码： | 云南;53 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明涉及光电倍增管加工技术领域，具体而言涉及用于光电倍增管镀膜的蒸镀装置及其制作方法、装置以及光窗镀膜的蒸镀方法、装置，包括：蒸发电极，包括正极以及负极；蒸发源结构，所述蒸发源结构的第一端连接到所述正极，所述蒸发源结构的第二端连接到所述负极；蒸发材料层，连接到所述蒸发源结构；其中，所述蒸发源结构包括蒸发面，所述蒸发材料层连接到所述蒸发面。利用面蒸发源的优势提升其镀膜的均匀性，从而提升器件的量子效率均匀性。且片状面蒸镀装置镀膜方向仅朝向玻璃光窗，其他方向被其自身蒸发源薄片挡住，不会蒸镀到陶瓷等不需要镀膜的位置，可改善整管的噪声特性。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 光电倍增管 镀膜 装置 及其 制作方法 以及 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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