[发明专利]一种关键尺寸扫描电子显微镜标准样品、校准装置及校准方法在审
| 申请号： | 202310571580.9 | 申请日： | 2023-05-21 |
| 公开（公告）号： | CN116659427A | 公开（公告）日： | 2023-08-29 |
| 发明（设计）人： | 李国庆;王鹏;楼圣群;夏长城 | 申请（专利权）人： | 华研芯测半导体（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | G01B15/00 | 分类号： | G01B15/00;G01B21/04;H01J37/28 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215311 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种关键尺寸扫描电子显微镜（CD‑SEM）标准样品、校准装置及校准方法，包括：一种关键尺寸扫描电子显微镜标准样品，所述标准样品分为四个不同的区域S |
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| 搜索关键词： | 一种 关键 尺寸 扫描 电子显微镜 标准 样品 校准 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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