[发明专利]一种增强铪基铁电薄膜极化的热再唤醒操作方法及系统

摘要

本发明公开了一种增强铪基铁电薄膜极化的热再唤醒操作方法及系统，属于微纳米电子技术领域，包括：S1、对铪基铁电薄膜进行加热升温；S2、向铪基铁电薄膜施加具有若干个周期的脉冲电压；S3、将铪基铁电薄膜降温至初始温度。本发明通过热再唤醒的操作，产生了一定量的氧空位，将非极化相转变为了极化相，能够以较低的成本、较为简单的操作，使得铪基铁电薄膜的极化值有较大的提升，大大提高了铪基铁电器件的性能。除此之外，本发明可以根据升高温度的不同进行多次极化的提升，大大提高了铪基铁电薄膜使用的灵活性，满足集成阵列中对具备高极化值铪基薄膜的需求。