[发明专利]应用于固态量子器件的钝化方法、钝化系统有效
| 申请号： | 202310539660.6 | 申请日： | 2023-05-15 |
| 公开（公告）号： | CN116259691B | 公开（公告）日： | 2023-08-29 |
| 发明（设计）人： | 霍永恒;赵军一;钟东勳;刘润泽;潘建伟 | 申请（专利权）人： | 中国科学技术大学 |
| 主分类号： | H01L33/00 | 分类号： | H01L33/00;H01L33/44 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 孙蕾 |
| 地址： | 230026 安*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种应用于固态量子器件的钝化方法、钝化系统，该应用于固态量子器件的钝化方法，包括：采用硫化氢钝化法对预处理后的固态量子器件进行第一次钝化处理，以将固态量子器件表面的本征氧化物置换为硫化物，以形成第一钝化层；以及采用原子层沉积法对经第一次钝化处理后的固态量子器件进行第二次钝化处理，以在第一钝化层上沉积氧化物，形成第二钝化层。利用上述的钝化方法处理固态量子器件，可以有效去除固态量子器件表面的表面态，并显著提升固态量子器件的光学品质。 | ||
| 搜索关键词： | 应用于 固态 量子 器件 钝化 方法 系统 | ||
【主权项】：
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