[发明专利]量测方法和相关装置在审
| 申请号： | 202310533702.5 | 申请日： | 2019-03-07 |
| 公开（公告）号： | CN116559495A | 公开（公告）日： | 2023-08-08 |
| 发明（设计）人： | T·J·胡伊斯曼;R·C·玛斯;H·A·迪伦 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G01Q30/02 | 分类号： | G01Q30/02;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 郭星 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本公开涉及量测方法和相关装置。公开了一种用于确定与特征的边缘有关的边缘位置的方法和相关装置，特征被包括在包括噪声的图像(诸如扫描电子显微镜图像)内。该方法包括从图像确定参考信号；以及确定相对于上述参考信号的边缘位置。通过在与估计边缘位置的初始轮廓平行的方向上应用图像至一维低通滤波器，可以从图像确定参考信号。 | ||
| 搜索关键词： | 方法 相关 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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