[发明专利]一种利于回收的卡塞及回收方法在审
| 申请号： | 202310523562.3 | 申请日： | 2023-05-11 |
| 公开（公告）号： | CN116534424A | 公开（公告）日： | 2023-08-04 |
| 发明（设计）人： | 赵中阳;于会永;冯佳锋;袁韶阳;赵春锋 | 申请（专利权）人： | 大庆溢泰半导体材料有限公司 |
| 主分类号： | B65D25/04 | 分类号： | B65D25/04;B08B3/08;B08B3/12;B08B3/02;B65D25/38;B65D81/05 |
| 代理公司： | 黑龙江省百盾知识产权代理事务所(普通合伙) 23218 | 代理人： | 孙淑荣 |
| 地址： | 163000 黑龙江省大庆市高新区新泰路3号、黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 一种利于回收的卡塞及回收方法，涉及晶圆分选卡塞领域，包括上端板、下端板和滑动板，所述的上端板与下端板之间设置有用于分层卡放晶圆的卡放组件，卡放组件不少于三组，卡放组件包括导向轴和隔块，导向轴的两端分别与上端板和下端板固定连接，隔块一字排开串装在导向轴上，相邻隔块之间设置有隔垫，从而使隔块与隔块之间形成凹槽，所述的卡放组件外侧设置有用于拉开隔块与隔块之间间距的连接装置。本发明在卡塞结构上做出创新，使其更利于回收再利用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 利于 回收 方法 | ||
【主权项】：
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