[发明专利]一种利于回收的卡塞及回收方法

权利要求书

1.一种利于回收的卡塞，其特征在于：包括上端板(1)、下端板(6)和滑动板(3)，所述的上端板(1)与下端板(6)之间设置有用于分层卡放晶圆(8)的卡放组件，卡放组件不少于三组，卡放组件包括导向轴(2)和隔块(5)，导向轴(2)的两端分别与上端板(1)和下端板(6)固定连接，隔块(5)一字排开串装在导向轴(2)上，相邻隔块(5)之间设置有隔垫(9)，从而使隔块(5)与隔块(5)之间形成凹槽，所述的卡放组件外侧设置有用于拉开隔块(5)与隔块(5)之间间距的连接装置；

所述的连接装置包括边部连接板(10)和中部连接板(11)，边部连接板(10)和中部连接板(11)的结构相同，边部连接板(10)和中部连接板(11)的两端均带有长孔，每个隔块(5)上固定设置有短销(12)，边部连接板(10)连接在三个隔块(5)之间，其中中间的隔块(5)的短销(12)与边部连接板(10)中间位置固定连接，上下的两个隔块(5)的短销(12)分别插装在边部连接板(10)两端的长孔内并可在长孔内滑动，中部连接板(11)同样连接在三个隔块(5)之间，三个隔块(5)中中间的隔块(5)的短销(12)与中部连接板(11)的中间位置固定连接，上下的两个隔块(5)的短销(12)分别插装在中部连接板(11)两端的长孔内并可在长孔内滑动，与中部连接板(11)通过短销连接的上下两个隔块(5)还与边部连接板(10)通过短销(12)连接；所述的滑动板(3)位于卡放组件的上方，滑动板(3)与最上方的隔块(5)连接。

2.根据权利要求1所述的一种利于回收的卡塞，其特征在于：所述的隔垫(9)为可拆卸式结构，隔垫(9)包括不同的厚度型号。

3.根据权利要求1所述的一种利于回收的卡塞，其特征在于：所述的上端板(1)与滑动板(3)之间设置有用于改变二者间距的螺杆(7)，螺杆(7)与滑动板(3)旋转配合，螺杆(7)与上端板(1)螺纹配合。

4.根据权利要求1所述的一种利于回收的卡塞，其特征在于：所述的滑动板(3)上设置有拉钩(4)，拉钩(4)下端能够卡在所述的短销(12)上，从而在滑动板(3)上下滑动时带动该短销(12)及其上方所有的隔块(5)共同向上滑动。

5.一种如权利要求1-4所述的利于回收的卡塞的回收方法，其特征在于包括以下步骤：

a、将回收的卡塞集中起来，撕去表面的标签，如果标签无法完全除去，则用有机溶剂擦拭，直至标签完全除去，而后进行表面检查，对于表面合格的卡塞，向上旋转螺杆(7)至滑动板(3)升至最高，使各个隔块(5)之间拉开最大距离，取出隔垫(9)；

b、将拉开间距的卡塞整体放入浓硫酸中浸泡3-10分钟，浓硫酸采用分析纯以上的浓硫酸，浓硫酸浓度大于98％，之后在进行浸泡稀硫酸3-10分钟，稀硫酸中硫酸和水的体积份数比为1:3～10；

c、浸泡稀硫酸后进行冲水，冲洗2-3次；

d、转入超声槽，槽内放入氨水、双氧水和水的混合溶液，超声清洗3-10分钟，氨水、双氧水和纯水的体积份数比为(1-2)：(2-4):(10-30)；

e、转入超声溢流槽中，溢流槽放入纯水，超声3-10分钟；

f、步骤e处理后的卡塞直接冲水，冲洗3分钟以上；

g、取出卡塞进行热风晾晒，晾干后的卡塞进行表面检查，合格品方可以使用。