[发明专利]一种基于埋栅结构的改进型石墨烯气体传感器在审
| 申请号： | 202310496657.0 | 申请日： | 2023-05-05 |
| 公开（公告）号： | CN116465929A | 公开（公告）日： | 2023-07-21 |
| 发明（设计）人： | 吴韵秋;徐涛;刘辉华;赵晨曦;余益明;张青风;康凯 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | G01N27/00 | 分类号： | G01N27/00 |
| 代理公司： | 电子科技大学专利中心 51203 | 代理人： | 甘茂 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明属于气体传感技术领域，具体提供一种基于埋栅结构的改进型石墨烯气体传感器，用以解决传统背栅结构石墨烯气体传感器存在的栅控能力差的问题。本发明提出埋栅结构，将栅极金属层埋嵌设置于硅衬底层的矩形凹槽内，同时引入三氧化二铝作为栅极电介质，能够大幅减小栅极电介质的厚度并增大栅极电介质的相对介电常数，从而提高器件的栅控能力；并且，埋栅结构实现栅极金属层的图形化，保证栅极金属与漏、源极金属在垂直方向上无重叠部分，有效提高气体传感器的可靠性；另外，埋栅结构能够保证石墨烯层的反应面积，保证器件响应度好，且具有面积小、可微型化集成为传感器阵列的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 结构 改进型 石墨 气体 传感器 | ||
【主权项】：
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