[发明专利]一种基于双刃边扫描的高精度波前检测方法及装置在审
| 申请号： | 202310493238.1 | 申请日： | 2023-05-05 |
| 公开（公告）号： | CN116593129A | 公开（公告）日： | 2023-08-15 |
| 发明（设计）人： | 李明;刘方;杨俊亮;李凡;李哲;张常睿;洪振;刁千顺 | 申请（专利权）人： | 中国科学院高能物理研究所 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02 |
| 代理公司： | 北京君尚知识产权代理有限公司 11200 | 代理人： | 司立彬 |
| 地址： | 100049 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于双刃边扫描的高精度波前检测方法及装置。本方法的关键点之一在于引入了双刃边的扫描结构，该结构包括一个固定刃边和一个扫描刃边，通过记录两刃边之间距离随扫描步数的变化，解决了光源指向性不稳定的问题，通过定位刃边提高了检测的空间分辨率，同时也提高了光束横向位移量的定位精度；本方法的关键点之二在于引入了激光干涉仪来检测扫描过程中两刃边之间距离的变化，利用激光干涉仪测量的数据可以对有无待测样品情况下的扫描位置进行修正，从而可以准确的去除入射参考波前缺陷的影响，同时也解决了待测样品引起光束翻转时的波前准确测量问题，测量精度可以达到nrad量级。综合以上两点，本发明极大的提高波前检测精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 双刃 扫描 高精度 检测 方法 装置 | ||
【主权项】：
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