[发明专利]一种制备高纯五氟化磷气体的方法及应用在审

专利信息
申请号: 202310480035.9 申请日: 2023-04-27
公开(公告)号: CN116514081A 公开(公告)日: 2023-08-01
发明(设计)人: 王福良;陈春财 申请(专利权)人: 金石资源集团股份有限公司
主分类号: C01B25/10 分类号: C01B25/10;C01D15/00
代理公司: 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 代理人: 周淑歌
地址: 310000 浙江省杭*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 发明提供了一种制备高纯五氟化磷气体的方法和应用,包括,多聚磷酸与无水氟化氢反应得到六氟磷酸水溶液;将三氧化硫滴入六氟磷酸水溶液,加热,气液分离,得到五氟化磷气体粗产物和硫酸,其中,三氧化硫与多聚磷酸的摩尔比为(12.2~14.0):1;将五氟化磷气体粗产物精制,得到高纯五氟化磷气体。本发明通过精准的控制三氧化硫与多聚磷酸的摩尔比,能够显著的降低五氟化磷气体中氟化氢的含量,同时充分利用三氧化硫对六氟磷酸的脱水作用,既提高原料的利用率,还能够降低五氟化磷粗产物中的杂质含量,进而简化五氟化磷粗产物的精制步骤,实现高纯五氟化磷气体的制备。
搜索关键词: 一种 制备 高纯 氟化 气体 方法 应用
【主权项】:
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