[发明专利]一种三自由度激光干涉测量装置在审
| 申请号： | 202310443051.0 | 申请日： | 2023-04-21 |
| 公开（公告）号： | CN116428966A | 公开（公告）日： | 2023-07-14 |
| 发明（设计）人： | 陈钦顺;朱凡;黄锐婷;王金梦;陈艳;黄祥青;叶贤基 | 申请（专利权）人： | 中山大学 |
| 主分类号： | G01B9/02015 | 分类号： | G01B9/02015 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 沈闯 |
| 地址： | 510275 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种三自由度激光干涉测量装置，包括：依次设置的激光发射模块、激光分束模块、干涉信号生成模块和信号处理模块，干涉信号生成模块包括并行设置的第一、第二干涉信号生成模块；激光发射模块发射激光光束；激光分束模块将激光光束分为频率不同的两个子光束；两个子光束进入第一干涉信号生成模块的两个空间分离光路，分别得到第一测量光和第一参考光并形成第一干涉信号；两个子光束同时进入第二干涉信号生成模块的两个空间分离光路，分别得到第二测量光和第二参考光并形成第二干涉信号；信号处理模块对第一、第二干涉信号进行处理得到待测目标的俯仰角、偏航角和纵向位移。本发明能显著降低光学非线性误差，得到高精度的三自由度值。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 自由度 激光 干涉 测量 装置 | ||
【主权项】：
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