[发明专利]监控系统、薄膜沉积系统和相移薄膜产品的制造方法在审
| 申请号： | 202310425792.6 | 申请日： | 2023-04-20 |
| 公开（公告）号： | CN116695085A | 公开（公告）日： | 2023-09-05 |
| 发明（设计）人： | 林岳明 | 申请（专利权）人： | 上海传芯半导体有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54;C23C14/34 |
| 代理公司： | 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 | 代理人： | 王宏婧 |
| 地址： | 200000 上海市浦东新区中国（上海）*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明提供一种监控系统、薄膜沉积系统和相移薄膜产品的制造方法，该监控系统，通过在线监控相移薄膜产品(例如空白相移掩模版等)表面上的反射率和/或透射率，以及，在线监控相移薄膜产品的相移量，并将在线监控到的反射率、透射率和相移量之一用于在线调整制造相移薄膜产品的沉积工艺参数，进而能够提高相移薄膜产品的良率和生产效率，降低生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 监控 系统 薄膜 沉积 相移 产品 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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