[发明专利]一种光刻均胶机在审
| 申请号： | 202310417579.0 | 申请日： | 2023-04-19 |
| 公开（公告）号： | CN116560191A | 公开（公告）日： | 2023-08-08 |
| 发明（设计）人： | 梁海霞;施欢乐;郭瑛;施恩泽 | 申请（专利权）人： | 盐城合瑞恩科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16;B05C5/02;B05C13/02 |
| 代理公司： | 盐城亭远专利代理事务所(普通合伙) 32486 | 代理人： | 郭超 |
| 地址： | 224000 江苏省盐城市盐南高新区*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供一种光刻均胶机，包括底箱，所述底箱上端转动连接转罩，所述转罩环形外端下侧安装环形齿轮，所述环形齿轮右端啮合传动齿轮，所述传动齿轮上端与第三驱动设备的活动部连接且第三驱动设备的固定部设置在底箱内部顶端，所述底箱上端左侧转动连接转轴，所述底箱内部顶端设置第二驱动设备的固定部，所述第二驱动设备的活动部穿过底箱并与转轴连接，所述转轴上端设置安装板，所述安装板上端右侧安装第一升降设备的固定部，所述第一升降设备的活动部穿过安装板并与调节件连接，所述调节件右端对称设置两个横板，该设计达到对基片进行提放式取放料的目的，有效减少对基片的均胶面产生损坏概率，提升均胶效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 均胶机 | ||
【主权项】：
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