[发明专利]一种光刻均胶机

权利要求书

1.一种光刻均胶机，其特征在于：包括底箱（1），所述底箱（1）上端转动连接转罩（7）且转罩（7）延伸入底箱（1）内部，所述转罩（7）环形外端下侧安装环形齿轮（76）且环形齿轮（76）位于底箱（1）内，所述环形齿轮（76）右端啮合传动齿轮（74），所述传动齿轮（74）上端与第三驱动设备的活动部连接且第三驱动设备的固定部设置在底箱（1）内部顶端，所述转罩（7）内部顶端安装吸附件的一端，所述吸附件的另一端与抽气设备的进口连通且抽气设备位于底箱（1）内部底端，所述底箱（1）上端左侧转动连接竖向布置的转轴（3），所述底箱（1）内部顶端设置第二驱动设备的固定部且第二驱动设备位于转罩（7）左侧，所述第二驱动设备的活动部穿过底箱（1）并与转轴（3）连接，所述转轴（3）上端设置横向布置的安装板（4），所述安装板（4）上端右侧安装第一升降设备的固定部，所述第一升降设备的活动部穿过安装板（4）并与调节件连接，且调节件位于转轴（3）右端与转罩（7）左端之间，所述调节件右端对称设置两个横向布置的横板（6），且两个横板（6）位于转罩（7）前后两侧，所述底箱（1）上端设置上胶机构且上胶机构位于转罩（7）右侧。

2.根据权利要求1所述的一种光刻均胶机，其特征在于：所述上胶机构包括安装箱（9），所述安装箱（9）下端设置移动件且移动件安装在底箱（1）上端，所述安装箱（9）内部右壁设置横向布置的上胶筒（93），所述上胶筒（93）左端上侧连通安装带单向阀的L型上胶管（8）的横向部且L型上胶管（8）延伸出安装箱（9）左侧，所述L型上胶管（8）的竖向部设置在转罩（7）正上方，所述上胶筒（93）内滑动连接活塞（92），所述安装箱（9）右端安装横向布置的第二升降设备的固定部，所述第二升降设备的活动部穿过安装箱（9）并与活塞（92）连接，所述上胶筒（93）左端下侧连通设置补胶件且补胶件位于安装箱（9）内。

3.根据权利要求2所述的一种光刻均胶机，其特征在于：所述补胶件包括贴合在安装箱（9）内部底端并用于存储聚酰亚胺胶的存储罐（96），所述上胶筒（93）左端下侧连通设置带单向阀的吸胶管（94）的一端，且吸胶管（94）的另一端延伸入存储罐（96）内，所述安装箱（9）内部底端设置定位筒（97）且定位筒（97）位于存储罐（96）外端，所述存储罐（96）上端螺纹连接端盖（95）并延伸入端盖（95）内，所述端盖（95）转动连接在吸胶管（94）环形端且端盖（95）位于上胶筒（93）下侧。

4.根据权利要求2所述的一种光刻均胶机，其特征在于：所述移动件包括固定在底箱（1）上端的两个平行布置的固定板（11），两个所述固定板（11）之间转动连接横向布置的丝杆（13），所述丝杆（13）外端通过滚动螺母副连接滑块（14）且滑块（14）位于底箱（1）上侧，所述滑块（14）上端设置安装箱（9），所述底箱（1）上端右侧安装第一驱动设备的固定部且第一驱动设备设置在位于右方的固定板（11）右侧，所述第一驱动设备的活动部与丝杆（13）连接。

5.根据权利要求4所述的一种光刻均胶机，其特征在于：两个所述固定板（11）之间对称安装两个圆杆，且两个圆杆位于丝杆（13）前后两侧，两个所述圆杆均贯穿滑块（14）且滑块（14）与圆杆滑动连接。

6.根据权利要求4所述的一种光刻均胶机，其特征在于：所述滑块（14）下端均匀设置多个滚动构件的固定部，多个所述滚动构件的滚动部均滚动连接在底箱（1）上端。

7.根据权利要求1所述的一种光刻均胶机，其特征在于：所述调节件包括安装在第一升降设备的活动部下端的矩形筒（2），两个所述横板（6）左端均延伸入矩形筒（2）内且矩形筒（2）与横板（6）滑动连接，所述矩形筒（2）内部转动连接纵向布置的双向螺杆（21），所述双向螺杆（21）贯穿两个横板（6）且横板（6）与双向螺杆（21）螺纹连接。

8.根据权利要求7所述的一种光刻均胶机，其特征在于：两个所述横板（6）上端均设置弧形板（61）且弧形板（61）与横板（6）呈一体化成型结构，两个所述弧形板（61）相对布置且弧形板（61）位于矩形筒（2）右侧。