[发明专利]一种晶圆加工用气动阀联动监测装置

摘要

本发明涉及晶圆加工的吸附技术领域，具体为一种晶圆加工用气动阀联动监测装置，半圆环气流道中设置有轻质球，轻质球的圆弧外壁上下两端贯穿设置有密封弧槽，密封弧槽与密封弧条贴合插接，轻质球竖直贯穿设置有竖直流道，有益效果为：通过在真空吸盘与气动阀之间设置联动块，从而利用联动块中的轻质球达到联动控制的目的，轻质球在半圆环气流道中转动，当负压吸附时，半圆环气流道首先形成负压，使得轻质球运动至上连接流道处，形成连通，当气动阀故障或信号传输干扰时，造成压力不足，从而形成的负压无法使得轻质球运动至端部，使得真空吸盘与晶圆之间无吸附力，从而使得机械臂的运动不会对晶圆造成损伤。