[发明专利]一种金属掺杂碳纳米管传感器及其在SF6

摘要

本发明涉及气敏传感器技术领域，公开了一种金属掺杂碳纳米管传感器及其在SF6检测中的应用，金属掺杂碳纳米管传感器，包括叉指电极，所述叉指电极表面均匀涂布金属掺杂碳纳米管薄膜，所述金属掺杂碳纳米管为铂氮掺杂碳纳米管，通过连续测量气敏测试过程中传感器的电阻变化来检测SF6分解组分的浓度，SF6分解组分包括H2S、SO2、SOF2和SO2F2。本发明解决了H2S和SO2气体间的甄别性检测并改善了SOF2和SO2F2气体的传感性能，通过传感器检测SF6特征分解产物，可实现设备绝缘在线监测与故障诊断及评估。