[发明专利]一种用于芯片切割的夹具

摘要

本发明属于芯片领域，本发明实施例公开了一种用于芯片切割的夹具，包括有安装架、收集盒、把手和固定组件。采用本发明，具有四个电动推杆同时收缩，使前后相邻的两个中空板之间的弹性伸缩杆被拉伸，进而使前后相邻的两个中空板之间变宽，使等宽条之间产生间隔，进而避免在纵切等宽条时，等宽条之间互相接触挤压导致切割得到的芯片受损，晶圆被切割成多个单独的芯片时，每个芯片通过一个吸盘单独进行固定，避免出现切割过程中单个芯片缺乏固定而导致蹦出的优点，解决了切割过程中产生的振动导致等宽条之间互相接触挤压，进而导致产生微裂纹和崩边等问题，并且由于切割过程中，单个芯片缺乏稳定的固定，容易出现挤压导致芯片蹦出的问题。