[发明专利]高NA大视场多接口显微物镜及晶圆缺陷检测系统在审
| 申请号： | 202310363771.6 | 申请日： | 2023-04-07 |
| 公开（公告）号： | CN116300031A | 公开（公告）日： | 2023-06-23 |
| 发明（设计）人： | 孙川;顾文斐;蔡雄飞 | 申请（专利权）人： | 苏州矽行半导体技术有限公司 |
| 主分类号： | G02B21/02 | 分类号： | G02B21/02;G02B21/24;G02B21/06;G01N21/95;G01N21/88 |
| 代理公司： | 北京千壹知识产权代理事务所(普通合伙) 11940 | 代理人： | 王玉玲 |
| 地址： | 215163 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种高NA大视场多接口显微物镜及晶圆缺陷检测系统，属于显微成像领域，高NA大视场多接口显微物镜包括集成壳体和内置于集成壳体末端的物镜本体；在集成壳体上设置照明光路接口、成像光路接口、自动对焦出入光路接口和照明能量检测光路接口；物镜本体采用高NA大视场平场超复消色差显微物镜。本申请的显微物镜采用带有多个外部光路接口的集成壳体与物镜本体，提高了光路接入的稳定性，减少了外部接线，采用高NA大视场的物镜，保证了成像质量，可以在晶圆级检测领域或光刻等领域推广应用。 | ||
| 搜索关键词： | na 视场 接口 显微 物镜 缺陷 检测 系统 | ||
【主权项】：
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