[发明专利]高NA大视场多接口显微物镜及晶圆缺陷检测系统

权利要求书

1.一种高NA大视场多接口显微物镜，其特征在于：包括集成壳体(1)和内置于集成壳体(1)末端的物镜本体(2)；在所述集成壳体(1)上设置照明光路接口(3)、成像光路接口(4)、自动对焦出入光路接口(5)和照明能量检测光路接口(6)；

其中，所述物镜本体(2)采用高NA大视场平场超复消色差显微物镜，其NA大于0.5；

所述照明光路接口(3)、成像光路接口(4)、自动对焦出入光路接口(5)和照明能量检测光路接口(6)的内部设置对应的反射镜或半透半反镜，用于接入物镜本体(2)的内部进出光路。

2.根据权利要求1所述的高NA大视场多接口显微物镜，其特征在于：

所述物镜本体(2)采用反射折光式显微物镜结构。

3.根据权利要求1所述的高NA大视场多接口显微物镜，其特征在于：

在所述集成壳体(1)上与物镜本体(2)内部的临接处设置外调单元(7)，用于光阑调节或快接装配调节。

4.根据权利要求1所述的高NA大视场多接口显微物镜，其特征在于：

在集成壳体(1)的顶部或物镜本体(2)与集成壳体(1)的邻接处设置压电微调器，用于物镜本体(2)或整个显微物镜的高度调节。

5.根据权利要求1所述的高NA大视场多接口显微物镜，其特征在于：

集成壳体(1)的顶端设置备用空位(8)，用于增加项光路的介入备用。

6.一种晶圆缺陷检测系统，其特征在于：系统包括显微物镜(100)、照明单元(200)、成像单元(300)、对焦单元(400)、光强监测单元(500)和晶圆运动台(600)；所述显微物镜(100)采用权利要求1-5任一项所述的高NA大视场多接口显微物镜，所述物镜本体(2)的外部出入光路正对下方的晶圆运动台(600)布置，所述照明光路接口(3)与照明单元(200)光路连接，所述成像光路接口(4)与成像单元(300)光路连接，所述自动对焦出入光路接口(5)与所述对焦单元(400)连接，所述照明能量检测光路接口(6)与所述光强监测单元(500)光路连接；其中，所述成像单元(300)包括TDI传感器，所述光强监测单元(500)采用能量探测器，用于检测成像光路的光照能量；其中，照明单元(200)采用宽光谱。