[发明专利]一种光学薄膜元件及其制备方法在审
| 申请号： | 202310357290.4 | 申请日： | 2023-04-04 |
| 公开（公告）号： | CN116497310A | 公开（公告）日： | 2023-07-28 |
| 发明（设计）人： | 曾强 | 申请（专利权）人： | 北京创思镀膜有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/02 | 分类号： | C23C14/02;C23C14/54;G02B1/10 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 张正秋 |
| 地址： | 101113 北京市通*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种光学薄膜元件及其制备方法，涉及光电技术领域，用于改善现有技术中因应力导致光学薄膜元件的表面面形指标降低的问题，从而大幅提升器件的性能和质量。该方法包括：提供第一基片，其中，第一基片包括待镀膜面；对第一基片的待镀膜面进行预处理，形成满足理论光圈指标和理论光圈局部误差指标的第二基片；采用镀膜工艺在第二基片的待镀膜面上形成多层镀膜层，得到待检测元件；判断待检测元件是否满足预设光圈指标和预设光圈局部误差指标；根据判断结果确定待检测元件是否为合格产品。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光学薄膜 元件 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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