[发明专利]一种超高真空腔体的等离子清洗设备

摘要

本发明提供一种超高真空腔体的等离子清洗设备，包括等离子清洗机本体、安装在等离子清洗机本体内部上方的真空腔、通过铰链关节活动安装在等离子清洗机本体一侧顶部的密封门以及活动卡接在密封门一侧的活动卡块。本发明能够便于机械式转动驱动稳定，能够应对异形的超真空腔体支撑清洗，以解决现有真空腔内由于有电波因此内部放置超真空腔体时均采用基本的简易支架，但由于等离子发射器的阴极与阳极发电波轰击时内部不能增加电器件，导致真空腔内的超真空腔体无法转动均匀的受到等离子电波轰击，导致需要提高等离子清洗时间，同时由于部分结构件造型不规整，等离子接触面与轰击效果较差，会出现较大面积被支架遮挡影响等离子轰击清洗效率的问题。