[发明专利]一种单晶硅生产用籽晶制备装置及方法在审
申请号: | 202310355849.X | 申请日: | 2023-04-06 |
公开(公告)号: | CN116377597A | 公开(公告)日: | 2023-07-04 |
发明(设计)人: | 许堃;闫洪嘉;李安君 | 申请(专利权)人: | 云南宇泽半导体有限公司 |
主分类号: | C30B35/00 | 分类号: | C30B35/00;C30B15/36;C30B29/06;B08B5/02;B08B7/02;B08B13/00;B01D46/30 |
代理公司: | 云南恒于知行知识产权代理有限公司 53225 | 代理人: | 李宁 |
地址: | 675000 云南省楚雄彝*** | 国省代码: | 云南;53 |
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摘要: | 本发明公开了一种单晶硅生产用籽晶制备装置及方法,涉及单晶硅生产技术领域。该单晶硅生产用籽晶制备装置及方法,包括籽晶制备装置,所述籽晶制备装置的外壁固定连接有控制装置,所述籽晶制备装置的右端固定连接有原料清理装置,籽晶制备装置为市面上现有的装置,对原材料进行融化然后制成籽晶。该单晶硅生产用籽晶制备装置及方法,通过锥形块在下降过程中还会对圆形仓中气流的挤压,进而还会产生气流的流动,气流朝着暂存箱中吹去,然后气流从气流口中吹出,气流在经过暂存箱中时,会进一步带走暂存箱中原材料上的灰尘,气流的流动起到了清理灰尘的效果,产生了再一次清理灰尘的效果,外界的气体通过海绵板的过滤。 | ||
搜索关键词: | 一种 单晶硅 生产 籽晶 制备 装置 方法 | ||
【主权项】:
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