[发明专利]一种单晶硅生产用籽晶制备装置及方法在审

专利信息
申请号: 202310355849.X 申请日: 2023-04-06
公开(公告)号: CN116377597A 公开(公告)日: 2023-07-04
发明(设计)人: 许堃;闫洪嘉;李安君 申请(专利权)人: 云南宇泽半导体有限公司
主分类号: C30B35/00 分类号: C30B35/00;C30B15/36;C30B29/06;B08B5/02;B08B7/02;B08B13/00;B01D46/30
代理公司: 云南恒于知行知识产权代理有限公司 53225 代理人: 李宁
地址: 675000 云南省楚雄彝*** 国省代码: 云南;53
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摘要:
搜索关键词: 一种 单晶硅 生产 籽晶 制备 装置 方法
【说明书】:

本发明公开了一种单晶硅生产用籽晶制备装置及方法,涉及单晶硅生产技术领域。该单晶硅生产用籽晶制备装置及方法,包括籽晶制备装置,所述籽晶制备装置的外壁固定连接有控制装置,所述籽晶制备装置的右端固定连接有原料清理装置,籽晶制备装置为市面上现有的装置,对原材料进行融化然后制成籽晶。该单晶硅生产用籽晶制备装置及方法,通过锥形块在下降过程中还会对圆形仓中气流的挤压,进而还会产生气流的流动,气流朝着暂存箱中吹去,然后气流从气流口中吹出,气流在经过暂存箱中时,会进一步带走暂存箱中原材料上的灰尘,气流的流动起到了清理灰尘的效果,产生了再一次清理灰尘的效果,外界的气体通过海绵板的过滤。

技术领域

本发明涉及单晶硅生产技术领域,具体为一种单晶硅生产用籽晶制备装置及方法。

背景技术

单晶硅,硅的单晶体,具有基本完整的点阵结构的晶体,不同的方向具有不同的性质,是一种良好的半导材料;

引用专利号为CN216463731U的国家专利,该专利公开了一种无收尾直拉单晶硅生产装置,涉及单晶硅生产技术领域,该无收尾直拉单晶硅生产装置包括所述无收尾直拉单晶硅生产装置,包括用于放置单晶硅棒的支撑台,所述支撑台上沿着其长度方向上均布有落料槽,所述支撑台的一侧设置有用于带动单晶硅棒转动的第一电机,所述单晶硅棒与第一电机之间转动且滑动连接,所述支撑台的另一侧设置有第一固定套,所述第一固定套的内壁设置有闭环波浪形的滑槽,所述单晶硅棒上设置有夹持套杆,所述夹持套杆上设置有滑动在滑槽内的滑块;

上述专利设置了所述单晶硅棒上设置有夹持套杆,所述夹持套杆上设置有滑动在滑槽内的滑块,但是在单晶硅制造籽晶过程中,要将原材料颗粒融化,但是原材料颗粒上带有较多的灰尘,影响了后续籽晶的制造质量。

发明内容

针对现有技术的不足,本发明提供了一种单晶硅生产用籽晶制备装置及方法,以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现以上目的,本发明通过以下技术方案予以实现:一种单晶硅生产用籽晶制备装置,包括籽晶制备装置,所述籽晶制备装置的外壁固定连接有控制装置,所述籽晶制备装置的右端固定连接有原料清理装置,籽晶制备装置为市面上现有的装置,对原材料进行融化然后制成籽晶;

所述原料清理装置包括;

暂存箱,所述暂存箱为圆形结构,所述暂存箱的顶部固定连接有圆形仓,所述圆形仓的顶部固定连接有放入斗,所述暂存箱的外壁固定连接有抽吸管的一端,所述抽吸管的另一端与籽晶制备装置固定连接,所述放入斗、抽吸管、圆形仓和暂存箱内部连通,所述暂存箱用于存储原材料,暂存箱用于暂时存储原材料,用于籽晶制备装置随时对暂存箱中原材料进行抽吸;

活动装置,所述活动装置为圆形结构,所述暂存箱与抽吸管之间固定连接有活动装置,所述活动装置对暂存箱中的原材料抽吸,第一弹簧为弹性材料,进而带动管道复位;

气流通过装置,所述气流通过装置为斜向结构,所述气流通过装置固定连接在暂存箱的底部,所述气流通过装置用于过滤灰尘。

优选的,所述活动装置包括第一弹簧,所述抽吸管内壁位于暂存箱的位置固定连接有第一弹簧,所述第一弹簧的底部固定连接有管道,且管道位于暂存箱的内部,所述管道的外壁固定连接有受压块,所述管道的底部固定连接有弹性杆,所述弹性杆的底部固定连接有拨动环,挤压杆挤压到受压块上,使管道发生歪斜,然后在第一弹簧的弹性下带动复位。

优选的,所述气流通过装置包括气流口,所述暂存箱的底部开设有气流口,所述暂存箱外壁位于气流口的位置固定连接有第一轴承,所述第一轴承的外壁转动连接有海绵板,所述第一轴承和海绵板之间固定连接有第三弹簧,海绵板为海绵材料,进而对空气中的灰尘进行过滤。

优选的,所述海绵板为海绵材料制成,所述海绵板位于气流口的位置。

优选的,所述暂存箱的内底部固定连接有伸缩机,所述伸缩机的顶部活动连接有气流装置,伸缩机为市面上现有的装置,可以带动装置伸缩。

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