[发明专利]支持偏转定位的晶圆预定位方法及装置有效
| 申请号： | 202310351416.7 | 申请日： | 2023-04-04 |
| 公开（公告）号： | CN116130397B | 公开（公告）日： | 2023-06-27 |
| 发明（设计）人： | 戴金方;季建峰 | 申请（专利权）人： | 无锡卓海科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/68 | 分类号： | H01L21/68;H01L21/66;G01B15/00 |
| 代理公司： | 无锡华源专利商标事务所(普通合伙) 32228 | 代理人： | 过顾佳 |
| 地址： | 214125 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提出一种支持偏转定位的晶圆预定位方法及装置。其包括：寻心定位时，配置预定位传感器组内的标准预定位单元组对晶圆进行寻心定位检测；寻边定位时，基于所述寻边定位时的预设偏转角度以及晶圆在预定位时的转动方向，将与预设偏转角度正对应的预定位传感器配置为寻边定位目标传感器，将预定位传感器组内除寻边定位目标传感器所在传感单元对外其余的传感单元对配置为偏转寻边定位单元组；利用偏转寻边定位单元组对转动中的晶圆进行寻边定位，以将晶圆的定位标识体与寻边定位目标传感器正对应。本发明能实现偏转定位的预定位需求，提高预定位的精度与适应性。 | ||
| 搜索关键词： | 支持 偏转 定位 预定 方法 装置 | ||
【主权项】：
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
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