[发明专利]硫系玻璃基底上镀制增透膜膜系的制备方法在审
| 申请号： | 202310348614.8 | 申请日： | 2023-04-04 |
| 公开（公告）号： | CN116282962A | 公开（公告）日： | 2023-06-23 |
| 发明（设计）人： | 梁献波;刘梦佳;尹士平 | 申请（专利权）人： | 安徽光智科技有限公司 |
| 主分类号： | C03C17/36 | 分类号： | C03C17/36 |
| 代理公司： | 北京五洲洋和知识产权代理事务所(普通合伙) 11387 | 代理人： | 张向琨 |
| 地址： | 239004 安徽省*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： |
一种硫系玻璃基底上镀制增透膜膜系的制备方法包括步骤：S1，将作为镜片的硫系玻璃基底的陪镀片和产品的表面进行清洁处理；S2，将镜片放入工装夹具，工装夹具挂入真空镀膜机；S3，真空镀膜机启动抽真空，离子源进行清洗；S4，维持前述真空度，在镜片的对应面蒸镀第一Ge膜层；S5，蒸镀第一ZnS膜层；S6，蒸镀第二Ge膜层；S7，蒸镀第二ZnS膜层；S8，蒸镀第三Ge膜层；蒸镀第三ZnS膜层；S10，蒸镀YbF |
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| 搜索关键词： | 玻璃 基底 上镀制 增透膜 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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