[发明专利]一种单晶硅棒生产用拉晶炉

摘要

本发明公开了一种单晶硅棒生产用拉晶炉，涉及拉晶炉技术领域。该一种单晶硅棒生产用拉晶炉，包括可移动导热装置。该一种单晶硅棒生产用拉晶炉，导热组件下移进热室中，导热锥筒的侧面和导流筒的内壁相适配，导热锥筒紧压导流筒，导热环、导热顶板、导热弧板、导热底板、导热锥筒、导热底盖这些导热组件的温度远低于热室的温度，此时通过固体间的热传导作用、以及热传递效应，热室中大量的热量传递到导热组件上；通过冷却装置，导热杆上与冷却液接触，冷却液升温，升温后的冷却液经间壁式换热器进行降温，降温后的冷却液再次进入冷却盒中，继续对导热杆、挡环冷却，保证导热杆、挡环对导热直筒持续的导热能力。