[发明专利]一种单晶硅棒生产用拉晶炉

权利要求书

1.一种单晶硅棒生产用拉晶炉，包括底座（1）,其特征在于：所述底座（1）的顶部固定连接有主炉室（2），所述主炉室（2）的顶部连通有副炉室（3），所述副炉室（3）的顶部固定连接有上驱动装置（4），所述底座（1）的左侧设置有支撑件（5），所述支撑件（5）的顶部固定连接有上提件（6），所述支撑件（5）的正面固定连接有固定L板（9），所述固定L板（9）的上表面固定连接有冷却装置（8），所述支撑件（5）的右侧开设有滑槽（13），所述滑槽（13）的底部开设有槽（15），所述槽（15）的底部固定连接有可移动导热装置（7）；

所述可移动导热装置（7）包括双向电机（71），所述双向电机（71）的底部与槽（15）的底部固定连接，所述双向电机（71）的输出端固定连接有丝杆（72），所述丝杆（72）螺纹连接有螺母（73），所述螺母（73）的外侧固定连接有丝筒（74），所述丝筒（74）远离滑槽（13）的侧面固定连接有连接板（75），所述连接板（75）远离丝筒的一侧固定连接有导热直筒（76），所述导热直筒（76）下部的侧面固定连接有导热机构（77），所述连接板（75）贯穿开设有孔（78）。

2.根据权利要求1所述的一种单晶硅棒生产用拉晶炉，其特征在于：所述导热机构（77）包括导热环（771），所述导热环（771）的内壁与单晶硅棒（17）的侧面固定连接，所述导热环（771）的外壁固定连接有第一导热顶板（772），所述第一导热顶板（772）的底部固定连接有导热弧板（773），所述导热弧板（773）的外侧固定连接有导热锥筒（775），所述导热锥筒（775）底部固定连接有导热底板（774），所述导热底板（774）的外侧与导热弧板（773）的内侧固定连接，所述导热底板（774）的底部固定连接有导热底盖（776）。

3.根据权利要求1所述的一种单晶硅棒生产用拉晶炉，其特征在于：所述冷却装置（8）包括间壁式换热器（81），所述间壁式换热器（81）的底部与固定L板（9）的上表面固定连接，所述间壁式换热器（81）的右侧连通有热液管（82）和冷液管（83），所述热液管（82）和冷液管（83）远离间壁式换热器（81）的一端连通有定向导热冷却（85），所述定向导热冷却（85）的左侧固定连接有第二固定板（84），所述第二固定板（84）的左侧与支撑件（5）的右侧固定连接，化料器（10）的底部固定连接有加热器（19），所述加热器（19）的顶部固定连接有坩埚（18），所述化料器（10）顶部的内壁固定连接有导流筒（16）。

4.根据权利要求1所述的一种单晶硅棒生产用拉晶炉，其特征在于：所述定向导热冷却（85）包括第二导热顶板（851），所述第二导热顶板（851）的内壁与导热直筒（76）的侧面固定连接，所述第二导热顶板（851）的底部固定连接有导热杆（852），所述导热杆（852）底部的侧面固定连接有挡环（853），所述挡环（853）贯穿开设有散热孔（854），所述第二导热顶板（851）的正下方设置有冷却盒（855），所述冷却盒（855）的顶部贯穿开设有顶孔（856），所述顶孔（856）与导热杆（852）滑动连接，所述冷却盒（855）的一侧连通有出液管（857），所述冷却盒（855）的另一侧连通有进液管（858）。

5.根据权利要求1所述的一种单晶硅棒生产用拉晶炉，其特征在于：所述副炉室（3）的左侧设置有化料器（10），所述化料器（10）的顶部连通有加料器（11），所述上提件（6）的底部固定连接有带绳籽晶（12），所述带绳籽晶（12）的底部固定连接有单晶硅棒（17），所述支撑件（5）的右侧开设有滑槽（13），所述支撑件（5）的右侧固定连接有第一连接板（14），所述第一连接板（14）的右侧固定连接有冷却装置（8）。

6.根据权利要求1所述的一种单晶硅棒生产用拉晶炉，其特征在于：所述导热直筒（76）的中下部设置在化料器（10）和加料器（11）中，导热直筒（76）的内径大于单晶硅棒（17）的直径。