[发明专利]一种单晶硅棒生产用拉晶炉

说明书

本发明公开了一种单晶硅棒生产用拉晶炉，涉及拉晶炉技术领域。该一种单晶硅棒生产用拉晶炉，包括可移动导热装置。该一种单晶硅棒生产用拉晶炉，导热组件下移进热室中，导热锥筒的侧面和导流筒的内壁相适配，导热锥筒紧压导流筒，导热环、导热顶板、导热弧板、导热底板、导热锥筒、导热底盖这些导热组件的温度远低于热室的温度，此时通过固体间的热传导作用、以及热传递效应，热室中大量的热量传递到导热组件上；通过冷却装置，导热杆上与冷却液接触，冷却液升温，升温后的冷却液经间壁式换热器进行降温，降温后的冷却液再次进入冷却盒中，继续对导热杆、挡环冷却，保证导热杆、挡环对导热直筒持续的导热能力。

技术领域

本发明涉及拉晶炉技术领域，具体为一种单晶硅棒生产用拉晶炉。

背景技术

利用拉晶炉拉制单晶硅棒的主要工序包括装炉、抽真空、检漏、熔料、熔接、缩颈、引晶、放肩、等径、收尾、取段、加料、熔接等。

市场上常见的拉晶炉在完成单晶硅棒的制作后，热室的温度高，无法进行下一次的制作，只能等热室的温度降到合适的范围才能继续生产，而热室为了保持一定的气密性，热室无法直接与外界接触并进行热，只能通过氩气的流通进行一定的热量交换，交换散热效率差，大大延长开炉时间，降低生产效率。

发明内容

针对现有技术的不足，本发明提供了一种单晶硅棒生产用拉晶炉，能够借助导热材料和冷却设备加速热室的冷却，提高生产效率。

为实现以上目的，本发明通过以下技术方案予以实现：一种单晶硅棒生产用拉晶炉，包括底座,所述底座的顶部固定连接有主炉室，所述主炉室的顶部连通有副炉室，所述副炉室的顶部固定连接有上驱动装置，所述底座的左侧设置有支撑件，所述支撑件的顶部固定连接有上提件，所述支撑件的正面固定连接有固定L板，所述固定L板的上表面固定连接有冷却装置，所述支撑件的右侧开设有滑槽，所述滑槽的底部开设有槽，所述槽的底部固定连接有可移动导热装置；

所述可移动导热装置包括双向电机，所述双向电机的底部与槽的底部固定连接，所述双向电机的输出端固定连接有丝杆，所述丝杆螺纹连接有螺母，所述螺母的外侧固定连接有丝筒，所述丝筒远离滑槽的侧面固定连接有连接板，所述连接板远离丝筒的一侧固定连接有导热直筒，所述导热直筒下部的侧面固定连接有导热机构，所述连接板贯穿开设有孔。

优选的，所述导热机构包括导热环，所述导热环的内壁与单晶硅棒的侧面固定连接，所述导热环的外壁固定连接有导热顶板，所述导热顶板的底部固定连接有导热弧板，所述导热弧板的外侧固定连接有导热锥筒，所述导热锥筒底部固定连接有导热底板，所述导热底板的外侧与导热弧板的内侧固定连接，所述导热底板的底部固定连接有导热底盖。

优选的，所述冷却装置包括间壁式换热器，所述间壁式换热器的底部与固定L板的上表面固定连接，所述间壁式换热器的右侧连通有热液管和冷液管，所述热液管和冷液管远离间壁式换热器的一端连通有定向导热冷却，所述定向导热冷却的左侧固定连接有第二固定板，所述第二固定板的左侧与支撑件的右侧固定连接，化料器的底部固定连接有加热器，所述加热器的顶部固定连接有坩埚，所述化料器顶部的内壁固定连接有导流筒。

优选的，所述定向导热冷却包括导热顶板，所述导热顶板的内壁与导热直筒的侧面固定连接，所述导热顶板的底部固定连接有导热杆，所述导热杆底部的侧面固定连接有挡环，所述挡环贯穿开设有散热孔，所述导热顶板的正下方设置有冷却盒，所述冷却盒的顶部贯穿开设有顶孔，所述顶孔与导热杆滑动连接，所述冷却盒的一侧连通有出液管，所述冷却盒的另一侧连通有进液管。

优选的，所述副炉室的左侧设置有化料器，所述化料器的顶部连通有加料器，所述上提件的底部固定连接有带绳籽晶，所述带绳籽晶的底部固定连接有单晶硅棒，所述支撑件的右侧开设有滑槽，所述支撑件的右侧固定连接有第一连接板，所述第一连接板的右侧固定连接有冷却装置。

优选的，所述导热直筒的中下部设置在化料器和加料器中，导热直筒的内径大于单晶硅棒的直径。