[发明专利]一种晶圆载台与机械臂的平行度调节结构及调节方法有效
| 申请号： | 202310332211.4 | 申请日： | 2023-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN116038774B | 公开（公告）日： | 2023-07-04 |
| 发明（设计）人： | 陈剑;俞胜武;高为达;戴丹蕾 | 申请（专利权）人： | 无锡卓海科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B25J19/00 | 分类号： | B25J19/00;B25J11/00;B25J18/00;H01L21/66;G01R31/28 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 沈鑫洪 |
| 地址： | 214125 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开一种晶圆载台与机械臂的平行度调节结构及调节方法。其中晶圆载台与机械臂的平行度调节结构包括基板，基板上设置有晶圆载台和横移驱动件，晶圆载台上放置有调平块，横移驱动件位于晶圆载台的一侧，且横移驱动件的活动端设置有转接板，转接板上设置有第一调节块，第一调节块上转动连接有第二调节块，第二调节块上转动连接有固定板，固定板上设置有升降驱动件，升降驱动件的活动端设置有延伸至晶圆载台上方的机械臂，通过调节第二调节块相对于第一调节块的转动角度、固定板相对于第二调节块的转动角度，使得机械臂的姿态可调，当机械臂的下表面与调平块完全贴合时，机械臂与晶圆载台平行。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 晶圆载台 机械 平行 调节 结构 方法 | ||
【主权项】：
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