[发明专利]基于叉指电极和铁酸锶的电阻式乙醇传感器及其制备方法在审
| 申请号： | 202310304958.9 | 申请日： | 2023-03-27 |
| 公开（公告）号： | CN116297714A | 公开（公告）日： | 2023-06-23 |
| 发明（设计）人： | 董燕;张伦勇;周丁冉;张恩诚 | 申请（专利权）人： | 黑龙江大学 |
| 主分类号： | G01N27/12 | 分类号： | G01N27/12 |
| 代理公司： | 江苏斐多律师事务所 32332 | 代理人： | 张佳妮 |
| 地址： | 150080 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于叉指电极和铁酸锶的电阻式乙醇传感器，其结构包括：一半导体基片；一蒸镀于半导体基片表面的电极，所述电极包括接线电极和叉指电极；所述叉指电极表面设置有感测区，所述感测区涂敷有SrFeO3‑δ材料；一钝化保护层，所述钝化保护层覆盖半导体基片表面除叉指电极外的其它区域。本发明首次将半导体衬底叉指电极与高价态铁酸锶(SrFeO3‑δ)粉末相结合用于乙醇气体检测，测试结果表明，器件在不同温度下都表现出良好的感测性能，且制备工艺简单、可微型化、与多种智能设备兼容的特点，在不同的领域具有广泛应用。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 电极 铁酸锶 电阻 乙醇 传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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