[发明专利]基于叉指电极和铁酸锶的电阻式乙醇传感器及其制备方法

权利要求书

1.一种基于叉指电极和铁酸锶的电阻式乙醇传感器，其特征在于其结构包括：一半导体基片；

一蒸镀于半导体基片表面的电极，所述电极包括接线电极和叉指电极；

所述叉指电极表面设置有感测区，所述感测区涂敷有SrFeO_3-δ材料；

一钝化保护层，所述钝化保护层覆盖半导体基片表面除叉指电极外的其它区域。

2.根据权利要求1所述的基于叉指电极和铁酸锶的电阻式乙醇传感器，其特征在于：所述半导体基片为硅、GaN、SiC、STO基片。

3.根据权利要求1所述的基于叉指电极和铁酸锶的电阻式乙醇传感器，其特征在于：所述钝化保护层为SiN、SiO₂、Al₂O₃或特氟龙涂层。

4.根据权利要求1所述的基于叉指电极和铁酸锶的电阻式乙醇传感器，其特征在于：所述叉指电极材料是金、铝、Ni、铂、钯金或这些材料的合金。

5.权利要求1-4中任一项所述的基于叉指电极和铁酸锶的电阻式乙醇传感器的制备方法，其步骤包括：

(1)应用光刻技术在半导体材料基片上形成电极图形，所述电极包括接线电极和叉指电极；

(2)将带有光刻图案的基片放入酸溶液中去除上面的天然氧化层；

(3)在基片上蒸镀金属，之后进行金属剥离形成所设计的电极；

(4)采用等离子体增强化学的气相沉积法技术在基片表面沉积钝化保护层；

(5)应用光刻技术去除叉指电极上的钝化保护层，作为敏感材料的涂敷区域即感测区；

(6)将高价态铁酸锶材料研磨成粉末，加入粘合剂混合成浆料，涂敷在上述制备好的感测区，烘干，制得电阻式乙醇传感器。

6.根据权利要求4所述的基于叉指电极和铁酸锶的电阻式乙醇传感器的制备方法，其特征在于：在基片上形成电极图形之前，先对基片进行清洁处理，所述清洁处理为依次用乙醇、丙酮、去离子水超声清洗。