[发明专利]硅片抛光机数采可视化及预测处理系统在审
| 申请号： | 202310285886.8 | 申请日： | 2023-03-22 |
| 公开（公告）号： | CN116541669A | 公开（公告）日： | 2023-08-04 |
| 发明（设计）人： | 高鹏;陈衡;张党磊;冯正源;赵意涛 | 申请（专利权）人： | 郑州大学 |
| 主分类号： | G06F18/20 | 分类号： | G06F18/20;G06F18/10;G06Q10/20;G01M99/00 |
| 代理公司： | 佛山市明高知识产权代理事务所(普通合伙) 44701 | 代理人： | 方圆圆 |
| 地址： | 450001 河南省郑*** | 国省代码： | 河南;41 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了包括数据采集存储模块、数据处理模块、诊断预测模块；所述数据采集存储模块通过通讯接口与被硅片抛光机双向通讯，实现硅片抛光机对被硅片抛光机的检定测试数据的接收和存储，并通过协议接口与数据处理模块通讯，调用数据库存储的硅片抛光机的日常测试数据，完成奇异值的识别和剔除；所述数据处理模块通过协议接口与诊断预测模块通讯。 | ||
| 搜索关键词： | 硅片 抛光机 可视化 预测 处理 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于郑州大学，未经郑州大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202310285886.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种用于数码印刷的热转印离型其制备方法
- 下一篇：一种温度控制装置和测试系统
