[发明专利]一种石英谐振加速度传感器的双面对准贴装方法在审
| 申请号： | 202310285185.4 | 申请日： | 2023-03-22 |
| 公开（公告）号： | CN116298390A | 公开（公告）日： | 2023-06-23 |
| 发明（设计）人： | 陈立国;王阳俊;刘欢;薛立伟;赵悦;孙承峰 | 申请（专利权）人： | 苏州大学 |
| 主分类号： | G01P15/097 | 分类号： | G01P15/097;B23P19/00;G06T7/00;G06T7/80;G06T7/13;G06V10/75 |
| 代理公司： | 苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙) 32257 | 代理人： | 殷海霞 |
| 地址： | 215000 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种石英谐振加速度传感器的双面对准贴装方法，属于微观领域的超精密操作，应用于石英谐振式加速度传感器中跨尺度零件装配，具体涉及双显微视觉系统相机标定、零部件特征识别以及低应力双面对准贴装方法。区别于过去实验过程中采用的手动按压装配，本发明通过标定工业面阵相机与世界坐标系间的映射关系、双相机坐标系映射关系，对显微视觉采集到的特征信息进行坐标转换，利用零部件表面的对准标识，实现加速度传感器零部件的对准与装配。该方法避免了手动装配误差较大而导致的石英谐振频率失调加速度传感器的测量精度的影响。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 石英 谐振 加速度 传感器 双面 对准 方法 | ||
【主权项】：
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